上海微电子宣布，其自主研发的28纳米光刻机已取得重大进展，并已成功研制出首台样机。这是我国在高端半导体装备领域取得的又一重大突破。 光刻机是半导体制造的关键设备，被誉为“芯片制造的母机”。28纳米光刻机是目前世界上最先进的光刻机之一，其研制成功标志着我国...