光刻机是制造半导体芯片的关键设备，其技术水平直接决定了芯片的制程工艺和性能。目前，全球光刻机市场主要被荷兰ASML公司垄断，中国国内尚无公司能够生产高端光刻机。 上海微电子是目前国内唯一一家上市的光刻机公司。公司于1997年成立，总部位于上海张江高科技园区。公司主要从事...