近日，上海微电子装备（集团）有限公司（以下简称“上海微电子”）成功交付首台国产 28nm 光刻机，标志着我国在集成电路制造关键核心技术领域取得重大突破，实现了从“有”到“优”的跨越。 国产光刻机的重要意义 打破国外垄断，提升我国集成电路产业链自主可控能力...

2023 年 3 月 15 日，上海微电子设备 (SMEE) 正式交付其首台 28 纳米光刻机，标志着中国在半导体制造技术方面取得重大突破。 光刻机的重要性 光刻机是半导体制造中最关键的设备之一。它将设计图案通过光线投射到硅片上，形成微芯片的基础结构。 先进...