上海微电子28纳米光刻机量产 (上海微电子28nm光刻机)

2023年3月1日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）宣布，其自主研发的28纳米光刻机已成功量产，标志着中国在高端芯片制造装备领域取得重大突破。

光刻机的重要意义

光刻机是半导体芯片制造过程中至关重要的设备，其精度和分辨率直接决定了芯片的性能和良率。28纳米制程是目前主流的芯片制程技术，广泛应用于智能手机、计算机、服务器等电子产品中。

上海微电子的突破

上海微电子经过多年的研发，成功掌握了28纳米光刻机的核心技术，包括光学系统、运动控制系统、激光系统和曝光系统等。这台光刻机具有以下特点：

• 分辨率：28纳米

• 叠层精度：5纳米
• 曝光速度：每小时100片晶圆
• 自动化程度高

量产意义

上海微电子28纳米光刻机的量产具有重大意义：

• 打破国外垄断：中国长期依赖进口光刻机，受制于国外科技巨头。上海微电子的突破打破了国外的垄断，增强了中国的芯片制造能力。
• 提升产业链安全：光刻机是芯片制造产业链中的关键环节。国产光刻机的量产将减少对国外进口的依赖，增强产业链的安全性。
• 推动芯片国产化：国产光刻机的出现将为国产芯片制造商提供保障，助力中国芯片产业的国产化进程。

未来的发展

上海微电子表示，其未来将继续加大研发投入，提升光刻机的精度和分辨率，向更先进的制程技术迈进。同时，公司还将与产业链上下游企业合作，共同推进中国芯片产业的发展。

上海微电子28纳米光刻机的量产是中国芯片制造行业的一个重大里程碑，标志着中国在关键技术领域取得重大进步。相信随着国产光刻机的不断突破，中国芯片产业将迎来更广阔的发展空间。